【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.05.29】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22AT0175
利用課題名 / Title
カーボンナノチューブの表面状態の解析
利用した実施機関 / Support Institute
産業技術総合研究所
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）計測・分析/Advanced Characterization
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion（副 / Sub）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials
キーワード / Keywords
カーボンナノチューブ（CNT）, 蓄電デバイス, 熱電素子, 透明導電膜
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
周 英
所属名 / Affiliation
産業技術総合研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
西村 光佳
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
本研究では、産業技術総合研究所ナノチューブ実用化研究センターで独自で開発したカーボンナノチューブ（CNT）のプロセス技術を活用し、蓄電デバイス・熱電素子・透明導電膜の応用研究を行い、CNTの実用化を目指す。ここで、産業技術総合研究所ナノプロセシング施設のエックス線光電子分光分析(XPS)装置を利用し、CNTの表面状態の解析を行った。
実験 / Experimental
【利用した主な装置】
【NPF074】エックス線光電子分光分析装置(XPS)
【実験方法】
6種類CNT試料を作製した。エックス線光電子分光分析(XPS)装置を用い、シリコーン基板に成膜したCNT膜の表面状態を解析した。
結果と考察 / Results and Discussion
図1に6種類CNT膜のC 1s スペクトルを示している。試料CNT-A、CNT-B、CNT-Eに比較し、試料CNT-C、CNT-D、CNT-Fは高結合エネルギー側に高いスペクトルを示し、表面により多くの官能基が存在していることが分かった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. C 1s spectra of CNT films
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
来年度論文発表を行う予定である。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件