【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.05.26】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22AT0145
利用課題名 / Title
SrTiO3単結晶の電気特性の評価
利用した実施機関 / Support Institute
産業技術総合研究所
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed
キーワード / Keywords
SrTiO3(STO)単結晶, 電気抵抗率
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
松林 康仁
所属名 / Affiliation
産業技術総合研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
AT-071：薄膜エックス線回折装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
LaをドープしたSrTiO3(STO)単結晶の電気特性と結晶性を評価した。ドープ量増加に伴い、電気抵抗率が減少する振る舞いが確認できた。また、ドープ量を増加しても結晶性の低下は見られなかった。
実験 / Experimental
・電気抵抗率測定
【NPF053】ワイヤーボンダー（2F）により、結晶に端子付けを行い、【NPF085】物理特性測定装置(PPMS)を用いて、2-300 Kの温度範囲で電気抵抗率の測定を行った。
・結晶性評価
【NPF071】薄膜エックス線回折装置により、ロッキングカーブ測定を行い、STO単結晶の結晶性の評価を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
図1に示すように、LaをドープしたSTOは温度減少に伴い、電気抵抗率が減少する金属伝導を示し、ドープ濃度増加に伴い、電気抵抗率が減少することが確認できた。
図２にLaドープSTOの224反射のロッキングカーブを示す。半値幅は0.0096度であり、ノンドープの結晶と同程度の結晶性を有することを確認できた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1 STOの電気抵抗率の温度依存性
図２ STOの224反射のロッキングカーブ
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件