【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.05.26】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

22AT0145

利用課題名 / Title

SrTiO₃単結晶の電気特性の評価

利用した実施機関 / Support Institute

産業技術総合研究所 / AIST

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed

キーワード / Keywords

SrTiO3(STO)単結晶, 電気抵抗率

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

松林 康仁

所属名 / Affiliation

産業技術総合研究所

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

AT-071：薄膜エックス線回折装置

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

　LaをドープしたSrTiO₃(STO)単結晶の電気特性と結晶性を評価した。ドープ量増加に伴い、電気抵抗率が減少する振る舞いが確認できた。また、ドープ量を増加しても結晶性の低下は見られなかった。

実験 / Experimental

・電気抵抗率測定
　【NPF053】ワイヤーボンダー（2F）により、結晶に端子付けを行い、【NPF085】物理特性測定装置(PPMS)を用いて、2-300 Kの温度範囲で電気抵抗率の測定を行った。

・結晶性評価
　【NPF071】薄膜エックス線回折装置により、ロッキングカーブ測定を行い、STO単結晶の結晶性の評価を行った。

結果と考察 / Results and Discussion

　図1に示すように、LaをドープしたSTOは温度減少に伴い、電気抵抗率が減少する金属伝導を示し、ドープ濃度増加に伴い、電気抵抗率が減少することが確認できた。
　図２にLaドープSTOの224反射のロッキングカーブを示す。半値幅は0.0096度であり、ノンドープの結晶と同程度の結晶性を有することを確認できた。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

図1 STOの電気抵抗率の温度依存性

図２ STOの224反射のロッキングカーブ

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件