【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.05.29】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22AT0104
利用課題名 / Title
カーボンナノチューブネットワーク用素子構造の試作
利用した実施機関 / Support Institute
産業技術総合研究所
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials
キーワード / Keywords
カーボンナノチューブ（CNT）,ボロメータ型赤外線センサ素子
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
弓削 亮太
所属名 / Affiliation
産業技術総合研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
田中 朋,殿内 規之,小坂 眞由美,宮崎 孝,野口 将高, 金折 恵
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
AT-006：マスクレス露光装置
AT-019：多目的エッチング装置(ICP-RIE)
AT-025：スパッタ成膜装置(芝浦）
AT-030：プラズマCVD薄膜堆積装置
AT-109：６インチ電子ビーム真空蒸着装置（アールデック）
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
カーボンナノチューブ（CNT）ネットワークを動作部としたボロメータ型赤外線センサ素子試作のため、電極及びパッシベーション膜の形成、及びパッシベーション膜へのホール形成等を行った。
実験 / Experimental
[NPF006] マスクレス露光装置
[NPF008] スピンコーター（フォト）
[NPF019] 反応性イオンエッチング装置（RIE）
[NPF022] UVオゾンクリーナー
[NPF025] スパッタ成膜装置(芝浦
[NPF030] プラズマCVD薄膜体積装置
[NPF054] ダイシングソー
[NPF106] 小型自動現像装置
[NPF109] ６インチ電子ビーム真空蒸着装置
素子作製プロセスの１例を示す。Si基板上にレジストを塗布、マスクレス露光装置で露光し、レジストパターニングを行った。その後E-gun蒸着装置でTi/Au (20/200nm)を成膜し、剥離液に浸しリフトオフを行った。次に基板表面にスパッタ装置でSiO2を100 nm成膜した。最後に電極へのコンタクトホールを形成するため、レジストをパターニングし、RIEでSiO2エッチングした。
結果と考察 / Results and Discussion
試作した素子構造のSiO2上に、CNTを分散することで電極間にCNTネットワークを構築した。IV特性をFig. 1に、素子外観写真をそのインセットに示した。試作した構造がCNTネットワークの特性解析に用いることができることが確認された。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 IV Property and Element Image of CNT Network
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 宮本敏江,田中朋,宮崎孝,金折恵,福田紀香,弓削亮太, "ELF法で分離した半導体型カーボンナノチューブの抵抗温度係数の評価", 第83回応用物理学会秋季学術講演会（仙台＆Webハイブリッド）, 2022年9月21日
- 田中朋,宮本敏江,金折恵,福田紀香,弓削亮太, "スパッタ成膜されたSiO2上に形成したCNTネットワークの電気的特性", 第83回応用物理学会秋季学術講演会（仙台＆Webハイブリッド）, 2022年9月22日
- T. Tanaka, T. Miyamoto, M. Kanaori, N. Fukuda, R. Yuge, "Measuring TCR of High Purity Semiconducting CNT Network for Super Sensitive Bolometric Infrared Detectors", 2022 MRS FALL MEETING & EXHIBIT (NM02.09.08)（ボストン）, 2022年11月30日
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件