【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2024.05.07】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22UT0398
利用課題名 / Title
新規半導体製造装置機構の研究
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
機能性粒子,電子顕微鏡/Electron microscopy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
岡部 貴雄
所属名 / Affiliation
東京大学
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
粒子の形状とサイズの確認
実験 / Experimental
・SEMの利用方法の利用説明を受けた後、機器利用を行った。
・ポリマー粒子とセラミック粒子の形状とサイズをSEMを用いて確認する
結果と考察 / Results and Discussion
固体潤滑剤用途として，媒質液中で液体モノマーと重合開始剤の混合物とを攪拌しつつ，可視光を照射して光重合した球状のフッ素系ポリマー粒子を確認した．生成したポリマー粒子の直径については，10-50 um程度と予想よりも大きいが，固体潤滑剤として作用できる大きさであると思われる．この観察結果から，攪拌および照射光の強度を高める必要があることが分かった．セラミック粒子については，撥水材料として有用な形状となっていることが確認できた．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：4件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件