【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2023.05.16】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

22UT0352

利用課題名 / Title

水晶の表面分析

利用した実施機関 / Support Institute

東京大学 / Tokyo Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

水晶振動子,走査プローブ顕微鏡/Scanning probe microscopy,電子分光

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

杉浦 広峻

所属名 / Affiliation

東京大学

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

UT-307：走査型プローブ顕微鏡
UT-301：多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS)

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

本研究では，水晶振動子を用いた力センサの作成工程において，水晶表面の表面官能基の特性を評価した．

実験 / Experimental

XPS装置に5mm角の市販のATカット水晶振動子片を設置し，X線照射時の光電子のスペクトルを観測した．

結果と考察 / Results and Discussion

水晶振動子製造工程における表面官能基，とりわけシラノール基の表面残存量を調査した．結果として，直接的に測定したシラノール基の残存量（O1sのスペクトルなど）に関しては，ばらつきが大きく，またプロセス処理後の表面の特性変化が著しいため，代替の手段が必要であることがわかった．そこでフッ化物置換を行いF1sによる定量手段を検討したところ，ばらつきの少ないスペクトルを得ることができた．今後は，定量手段についてさらなる検討を行う．

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件