【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2023.05.30】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22UT0345
利用課題名 / Title
レーザー加工痕形状の精密計測
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者）/Internal Use (by ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
レーザー加工,ポリマー材料,電子顕微鏡/Electron microscopy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
小西 邦昭
所属名 / Affiliation
東京大学
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
近年、物質を非接触でマイクロ加工を行う手法として、フェムト秒レーザー加工が注目されている。実際に加工を行った結果を、高精細な電子顕微鏡で評価することは、フェムト秒レーザー加工の高度化のために重要である。本研究では、実際にフェムト秒レーザーを用いてポリマー材料に穴あけを行い、その加工結果がどのようにSEMで観察可能であるかを確認した。
実験 / Experimental
東京大学光量子科学連携研究機構の共同研究設備利用制度におけるフェムト秒レーザー加工装置を用いてポリマー材料に作製した微小穴に対して、オスミウムコートを行ったのち、ARIMの低損傷走査型分析電子顕微鏡を用いてその形状を観察した。
結果と考察 / Results and Discussion
観察結果を図に示す。微小な円形開口が作成できていることが確認でき、穴上部および穴下部の径、すなわちテーパー角度も電子顕微鏡で概算値が評価可能である。これによって、電子顕微鏡観察がレーザー加工痕の評価手法として大いに活用できることが明らかになった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
レーザー加工痕の電子顕微鏡観察結果
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件