【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2023.05.17】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22UT0333
利用課題名 / Title
水晶振動子に関する研究
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
水晶振動子,走査プローブ顕微鏡/Scanning probe microscopy,電子分光
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
杉浦 広峻
所属名 / Affiliation
東京大学
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
渡邉 史朗,伊藤 匠海,天谷 諭,新井 史人
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
UT-301：多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS)
UT-307：走査型プローブ顕微鏡
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
本研究では，水晶振動子を用いた力センサの作製方法の検証に際し，ARIM装置群を使用することで，表面状態の分析を行ったものである．表面分析の結果，水晶ウェハに付着していたパーティクル状のコンタミネーションの存在を観測した．そのため，好適な洗浄方法などの製造プロセスの検証を行った．
実験 / Experimental
市販の水晶振動子作製用ウェハを用いて，5mm x 5mmのサンプルの小片を作製した．その後，サンプルに各種洗浄処理を施し，AFMによる表面分析を試みた．AFMによる分析では，表面の電荷のチャージが問題となるため，除電装置を用いて除電を行った．
結果と考察 / Results and Discussion
結果として，有機溶媒を用いたスクラブ洗浄において，好適な平滑面を含む表面の清浄状態を確認できた．これにより，水晶振動子の製造時に発生する素子特性のばらつきを抑制した．高安定な振動子を作製するための，必要条件について検討することができた．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 伊藤匠海ら，プラズマ直接接合を用いたクリープレスQCR 荷重センサ,2022日本機械学会ロボティクス，メカトロニクス部門講演会,2P2-K05
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件