【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2023.05.16】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

22UT0292

利用課題名 / Title

セラミックの構造解析

利用した実施機関 / Support Institute

東京大学 / Tokyo Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials

キーワード / Keywords

SEM-CL, セラミックス,電子顕微鏡/Electron microscopy

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

宮崎 智成

所属名 / Affiliation

デンカ株式会社

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

福川　昌宏

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

UT-102：高分解能走査型分析電子顕微鏡

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

当社では放熱材料を始めとした各種セラミックスフィラーを開発している。フィラー中の結晶性、欠陥、不純物に関する情報を得ることは、開発を進める上で重要である。ここでは、放熱フィラーとして用いられる窒化ホウ素について、結晶性、不純物の評価の可否を確認するため、走査電子顕微鏡付属のカソードルミネッセンス測定装置（以下、SEM-CLとする）を用いた実験を行った。

実験 / Experimental

装置：日本電子社製JSM-7800 prime条件： 15kV 結晶性が異なる粉末試料について、カーボンテープ上に固定した後、測定を実施した。

結果と考察 / Results and Discussion

測定の結果、結晶性の高い試料では、約215nmを中心とした、h-BNに由来するピークが確認でき*¹⁾、SEM-CLを用いてBNの結晶性の評価が可能であることを確認した。また、結晶性の低い試料では前述のh-BN由来のピークが弱くなる一方、約300nm～400nmにブロードなピークが検出されており、不純物に起因する発光であると考えられた。 今回の実験により、SEM-CLを用いた窒化ホウ素の結晶性、不純物の評価が可能であることを確認した。今後は不純物、欠陥の粒子内での分布等についての分析を検討する。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

参考文献*1) 高圧力の科学と技術 284　Vol. 15, No. 4 (2005)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件