【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2023.05.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22UT0222
利用課題名 / Title
集光用人工ナノ構造材料の屈折率評価
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者）/Internal Use (by ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion（副 / Sub）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions
キーワード / Keywords
分光エリプソメーター,赤外・可視・紫外分光/Infrared and UV and visible light spectroscopy,フォトニクス/ Photonics,表面・界面・粒界制御/ Surface/interface/grain boundary control
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
小西 邦昭
所属名 / Affiliation
東京大学
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
波長以下の人工構造によって光を制御するための構造はメタマテリアルと呼ばれ、2000年代以降盛んに研究が進められてきた。最近では、メタレンズと呼ばれる新しい原理の集光用メタマテリアルが注目を集めている。本研究では、このメタレンズ研究の基盤となる物質の屈折率を、分光エリプソメーターを用いて測定した。
実験 / Experimental
本研究では、合成石英基板上に製膜された窒化シリコン薄膜の屈折率を、分光エリプソメーターを用いて測定した。紫外～近赤外の波長範囲における測定結果に対し、数値計算によるフィッティングを行うことで、薄膜の厚さと屈折率をもとめた。
結果と考察 / Results and Discussion
測定した窒化シリコン膜の屈折率を図に示す。波長500nmより長波長の領域においてほぼ透明となっており、可視光より長波長領域のメタマテリアル構造作製用の材料として良好な特性を有していることが明らかになった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
分光エリプソメーターで計測した窒化シリコン薄膜の複素屈折率
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件