【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2023.05.12】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22UT0179
利用課題名 / Title
有機無機薄膜の薄膜構造解析
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
X線回折/X-ray diffraction,異種材料接着・接合技術/ Dissimilar material adhesion/bonding technology
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
鉄谷 尚士
所属名 / Affiliation
日産化学株式会社 物質科学研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
大野 正司
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
府川 和弘,飯盛 桂子
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術補助/Technical Assistance（副 / Sub）,機器利用/Equipment Utilization
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
液晶ディスプレイ(LCD)には、液晶配向させるために、ラビング処理されたポリイミド薄膜が広く用いられている。液晶の配向性や電気特性を制御するためには、ポリイミド薄膜の内部構造は非常に重要である。そこで我々は、Ｘ線反射率測定により、薄膜の内部構造を明らかにする試みを行った。
実験 / Experimental
配向膜試料としてジアミンの種類が異なるポリイミド配向膜2種類を調整した。サンプルはスピンコートにより薄膜(膜厚100nm)を形成させた石英基板を用いた。利用装置は高輝度In-Plane型X線回折装置 Smart Lab(リガク製)を用いた。
結果と考察 / Results and Discussion
昨年度とは異なるジアミンのサンプルを調整し、得られた反射率曲線から単層及び2層モデルフィッテイングを行い、膜厚、膜密度を算出した結果をTable.1に示す。ジアミン1,2のポリイミド薄膜は、2層モデルフィッティングにより膜厚、膜密度、ラフネスが算出された。一方でジアミン2のポリイミド薄膜は第1層と第2層の密度差がジアミン1のポリイミド薄膜と比較した場合、大きいことが明らかとなった。以上の結果からジアミンの種類により、ポリイミド薄膜の内部の密度が異なるため、ジアミンの化学的構造以外に層構造の差異も液晶の配向性や電気特性に影響を及ぼしていると推測される。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Table.1 ジアミン1,2のポリイミド薄膜の膜厚, 膜密度※1stlayer:air
side 2ndlayer:substrate side
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
謝辞【 和 文 】本研究は、文部科学省ナノテクノロジー プラットフォーム の支援を受けて 実施されました。 【 英 文 】 This work was supported by Nanotechnology Platform project by the Ministry of Education, Culture, Sports, Science and Technology of Japan.
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件