【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.22】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22KT1230
利用課題名 / Title
超伝導体にNbを用いた超伝導検出器MKIDの製作
利用した実施機関 / Support Institute
京都大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions
キーワード / Keywords
超伝導検出器,リソグラフィ/Lithography,膜加工・エッチング/Film processing and Etching,蒸着・成膜/Evaporation and Deposition,PVD,超伝導/ Superconductivity,超伝導/ Superconductivity
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
鈴木 惇也
所属名 / Affiliation
京都大学 大学院理学研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
武市宗一郎,末野慶徳,武藤優真
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
赤松孝義
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術相談/Technical Consultation
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
KT-203：電子線蒸着装置
KT-103：レーザー直接描画装置
KT-236：誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
電子線蒸着装置、レーザー直接描画装置、 誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング装置を用いて、Nb 薄膜を使った超伝導共振器の作成を試みた。
実験 / Experimental
電子線蒸着装置を用いて 4 インチシリコンウェハに Nb 薄膜を蒸着した。その後レーザー直接描画装置を用いて超伝導共振器の CPW パターンを描画し、誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング装置を用いてエッチングを行い、チップを作成した。
結果と考察 / Results and Discussion
Nb 薄膜を蒸着することに成功した（図1参照）。また、レーザー直接描画装置および誘導結合プラズマ反応イオンエッチング装置を用いてNb薄膜にパターンを形成することができた（図2参照）。超伝導転移温度などの性質の調査は継続課題で行う。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1: 4 インチ Si ウェハ上に蒸着された Nb 薄膜。
図2: レーザー直接描画装置およびエッチング装置を用いて Nb 薄膜上に形成されたパターン。
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
本研究は 2022 年度京都大学研究費獲得支援事業【いしずえ】の助成を受けたものです。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- (1) 日本物理学会2022年秋季大会, 「宇宙素粒子実験のための超伝導検出機MKIDのノイズ削減に向けた試作と評価」, 岡山理科大学, 2022/09/08
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件