【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.18】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22KT1129
利用課題名 / Title
生物を模倣したソフトロボットの開発
利用した実施機関 / Support Institute
京都大学 / Kyoto Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
成形/Molding,リソグラフィ/Lithography
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
長濱 峻介
所属名 / Affiliation
早稲田大学次世代ロボット研究機構，2)京都先端科学大学ナガモリアクチュエータ研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
赤松孝義
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
KT-104：高速マスクレス露光装置
KT-107：厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
KT-306：3D測定レーザー顕微鏡
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
本研究では、昨年度製作した３Dデータ（STLファイル）からマスクレス露光用のグレースケール画像に変換するシステムにおいて，画像の作成方法に応じた露光状態の調査を行った．
実験 / Experimental
10 umの高さ25 umの円柱の3Dデータを用いて、グレースケールデータの生成を行った。図１.aは、STLデータから生成した高解像度画像(250 nm/px)である。図1.bは、図1.aの画像から補間無しで変換した低解像度の画像(1 um/px)である。図1.cは、図1.aの画像からキュービック補間有りで変換した低解像度の画像(1 um/px)である。図1.dは、STLデータから作成した低解像度の画像(1 um/px)である。これらの画像を用いて、４倍のサブピクセル露光を行い、現像した形状の評価を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
マスクレス露光後に現像した構造を図２に示す。図２.aは、図１.aを高解像度画像（HR画像）、図1.dを低解像度画像(LR画像)として設定した際に、4倍のサブピクセル露光により得られた構造である。同様に、図2.b（図1.aをHR画像、図1.bをLR画像）、図2.c（図1.aをHR画像、図1.cをLR画像）の構造を得た。図2.dは、サブピクセル露光無しで、図1.dを設定して得られた構造である。 図１に示すように、LR画像の形状はそれぞれ異なるが、図２のサブピクセル露光後に得られた構造には大きな違いは無かった。図2.dのサブピクセル露光無しの条件は、ひし形のような構造になることが確認された。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図１ 10 umの円のグレースケール画像
図２ マスクレス露光後に現像したパターン（Doseは500 mJ/c㎡、レジストはPMER P-LA900PM）
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件