【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.08】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22KT1014
利用課題名 / Title
半導体および絶縁体のナノ構造評価
利用した実施機関 / Support Institute
京都大学 / Kyoto Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
レーザー加工,結晶構造,形状・形態観察,電子顕微鏡/Electron microscopy,フォトニクス/ Photonics
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
下間 靖彦
所属名 / Affiliation
京都大学大学院工学研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
櫻井平良
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
フェムト秒レーザーをMgO単結晶の内部に集光照射し、その集光部に形成される光誘起構造を、研磨して表面に露出させた。この構造変化領域を、超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡により評価する。
実験 / Experimental
フェムト秒レーザー（波長800 nm, パルス幅60 fs, 繰り返し周波数250 kHz）を対物レンズによりMgO単結晶試料内部に集光照射した。MgO試料内部の光誘起構造変化領域を研磨により露出させ、その表面を超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡により観察した。
結果と考察 / Results and Discussion
Fig. 1にレーザー照射断面のSEM像を示す。構造変化が見られると予想されていたが、何も観察することができなかった。これは研磨が不十分で構造変化領域を露出させることができなかったためであると考えられる。なお、図の両端にある照射痕はマーキングによるものである。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 SEI像
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件