【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.05.25】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22TU0044
利用課題名 / Title
ハイエントロピー合金の構造解析および組成変形挙動の解明
利用した実施機関 / Support Institute
東北大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
ハイエントロピー合金,集束イオンビーム/Focused ion beam
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
Wei Daixiu
所属名 / Affiliation
東北大学 金属材料研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
TU-507：集束イオンビーム加工装置
TU-508：集束イオンビーム加工装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
ハイエントロピー合金は伝統的な合金のないマイクロ構造と優れた特性により、学界の注目を集めている。予備変形したハイエントロピー合金から東北大学ARIMのFIB装置を用いて断面試料を作製した。作製した試料のSTEMによる構造・組織・元素分布観察は他施設で行った。本研究は変形挙動に注目し、塑性変形した新素材の転位および双晶の観察のために実施した。
実験 / Experimental
FeとIr系ハイエントロピー合金/ミディアムエントロピー合金の特定結晶方位を電子ビームでマークし、表面から収束イオンビーム加工装置FIB（サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社 Versa 3D/Quanta 3D）でSTEM観察用薄片試料を作製した。
結果と考察 / Results and Discussion
Fig.1にFIB試料採取の状況を示す。表面にダメージが入らないように保護膜を蒸着した後、Gaイオンビームにより削り加工を行い、STEM用サンプルを作製した。FIBで作製したサンプルのサイズは15μm×15μmであった。また、STEM―EDS観察中にMo原子の分布に影響を与えないために、Cu基板を用いた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 断面試料のリフトオフの状況（SEM像）
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件