【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.05.25】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

22TU0044

利用課題名 / Title

ハイエントロピー合金の構造解析および組成変形挙動の解明

利用した実施機関 / Support Institute

東北大学 / Tohoku Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

ハイエントロピー合金,集束イオンビーム/Focused ion beam

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

Wei Daixiu

所属名 / Affiliation

東北大学 金属材料研究所

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

TU-507：集束イオンビーム加工装置
TU-508：集束イオンビーム加工装置

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

ハイエントロピー合金は伝統的な合金のないマイクロ構造と優れた特性により、学界の注目を集めている。予備変形したハイエントロピー合金から東北大学ARIMのFIB装置を用いて断面試料を作製した。作製した試料のSTEMによる構造・組織・元素分布観察は他施設で行った。本研究は変形挙動に注目し、塑性変形した新素材の転位および双晶の観察のために実施した。

実験 / Experimental

FeとIr系ハイエントロピー合金/ミディアムエントロピー合金の特定結晶方位を電子ビームでマークし、表面から収束イオンビーム加工装置FIB（サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社　Versa 3D/Quanta 3D）でSTEM観察用薄片試料を作製した。

結果と考察 / Results and Discussion

Fig.1にFIB試料採取の状況を示す。表面にダメージが入らないように保護膜を蒸着した後、Gaイオンビームにより削り加工を行い、STEM用サンプルを作製した。FIBで作製したサンプルのサイズは15μm×15μmであった。また、STEM―EDS観察中にMo原子の分布に影響を与えないために、Cu基板を用いた。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

Fig. 1 断面試料のリフトオフの状況（SEM像）

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件