【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.04.30】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22NU0401
利用課題名 / Title
ポーラス酸化ガリウムの幾何学形状評価
利用した実施機関 / Support Institute
名古屋大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
形状・形態観察, 水素エネルギー関連材料, 走査型電子顕微鏡
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
近藤 敏彰
所属名 / Affiliation
愛知工科大学
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
アノード酸化プロセスにより作製したポーラス酸化ガリウムの幾何学形状をSEMにより調査した。
実験 / Experimental
液体ガリウムを固化させることで，ガリウム板を作製した。ガリウム板を酸性電解液中に浸漬しアノード酸化することで，ガリウム板の表面にポーラス酸化ガリウムを形成した。得られたサンプルの幾何学形状は，走査型電子顕微鏡（FE-SEM; JSM-7500F, JEOL; NU-004）を用いて観察した。
結果と考察 / Results and Discussion
Fig.1には，本検討により作製したポーラス酸化ガリウムの代表的なSEM観察像を示す。Fig.1(a)の正面像より，サンプル全面にわたってナノ細孔が配列している様子が観察された。ナノ細孔の直径は140nmであった。Fig.1(b)の断面像より，ナノ細孔が膜面に対し直行して形成された様子が観察された。ナノ細孔の深さはアノード酸化時間により制御可能であった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 (a) Frontal and (b) cross-sectional SEM image of a porous Ga oxide
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
・基盤研究C 「アノード酸化プロセスによる複合アニオン化合物の創生」
・林育生様（名大ARIM）に感謝します。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 近藤敏彰, “ガリウムのアノード酸化挙動”表面技術協会第149回講演大会，A-60，令和5年3月8日．
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件