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- 22TU0025
- 平面型熱電発電素子のシリコン酸化膜犠牲層エッチング / Sacrificial layer etching of SiO2 for planar-type TEG
- 2023.7.28
- 東北大学
- 22TU0022
- 圧電MEMSスピーカ開発 / piezo-MEMS speaker development
- 2023.7.28
- 東北大学
- 22TU0021
- SMS vacuum wafer-level package for resonator MEMS
- 2023.7.28
- 東北大学
- 22TU0020
- ポリマー圧電MEMSデバイスの応用研究 / Polymer piezo-MEMS actuator development
- 2023.7.28
- 東北大学
- 22TU0019
- Development of Tactile device and piezoelectric film deposition
- 2023.7.28
- 東北大学
- 22TU0018
- 微細構造体の作製技術開発 / Development of microstructure fabrication technology
- 2023.7.28
- 東北大学
- 22TU0013
- ECRスパッタ装置によるAuスパッタ / Au sputtering by ECR sputtering equipment
- 2023.7.28
- 東北大学
- 22TU0012
- 新カット水晶Ｌａｍｂ波レゾネータの開発 / Development of new-cut crystal lamb-wave resonator
- 2023.7.28
- 東北大学
- 22TU0011
- エピサセプターの酸洗浄 / Acid cleaning of susceptor for epitaxial growth
- 2023.7.28
- 東北大学
- 22TU0009
- 基板上への微細Ａｌ電極作成と基板の評価 / Fabrication of fine pitch Al electrode and evaluation of substrates
- 2023.7.28
- 東北大学