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22TU0076
MEMS磁気アクチュエータの作製とハプティックデバイスへの応用 / Study on Magnetic Actuator for Haptic Device
2023.7.28
東北大学
22TU0074
光通信用MEMSデバイスの開発 / MEMS device development for optical communications
2023.7.28
東北大学
22TU0072
カーボンナノチューブ1本レベルの熱動態計測のためのMEMSヒータ作製 / Fabrication of a MEMS heater for the measurement of thermal characteristics of individual carbon nanotubes
2023.7.28
東北大学
22TU0071
レクテナを用いた赤外光エネルギー利用 / Infrared Energy Utilization by Rectenna
2023.7.28
東北大学
22TU0070
温度補償共振子の作製 / A Study on Temperature-compensated Resonator
2023.7.28
東北大学
22TU0069
圧電薄膜MEMSデバイス開発 / Development of thin film piezoelectric MEMS devices
2023.7.28
東北大学
22TU0067
高精細発光素子のパターニング技術開発
2023.7.28
東北大学
22TU0066
ボールSAWセンサの社会実装 / Social implementation of ball SAW sensors
2023.7.28
東北大学
22TU0062
ヘテロ整合界面を有するSiCエピタキシャル成長技術開発とそれを用いたインテリジェントパワーICの実証 / Development of SiC epitaxial growth technology with lattice-matched heterointerfaces and demonstration of intelligent power ICs
2023.7.28
東北大学
22TU0061
Thermoelectric generators for self-powered sensing system
2023.7.28
東北大学
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