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- 22AT0132
- ミニマル反応性スパッタ装置によるAlN膜形成プロセスの開発
- 2023.7.28
- 産業技術総合研究所
- 22AT0131
- シリコン光導波路の開発
- 2023.7.28
- 産業技術総合研究所
- 22AT0130
- GaN スパッタ膜の評価
- 2023.7.28
- 産業技術総合研究所
- 22AT0128
- High-k膜の成膜
- 2023.7.28
- 産業技術総合研究所
- 22AT0127
- XPSによる超伝導薄膜の表面状態分析
- 2023.7.28
- 産業技術総合研究所
- 22AT0125
- 光量子集積回路製作に向けたSOIエッチングレシピの考案
- 2023.7.28
- 産業技術総合研究所
- 22AT0124
- ALD法によるAZO成膜条件の最適化
- 2023.7.28
- 産業技術総合研究所
- 22AT0123
- 超微細パターン樹脂成形用金型の検討
- 2023.7.28
- 産業技術総合研究所
- 22AT0120
- 微小部蛍光X線分析装置によるCu膜の膜厚測定
- 2023.7.28
- 産業技術総合研究所
- 22AT0119
- 人工スピンアイスの作製
- 2023.7.28
- 産業技術総合研究所