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- 22TU0036
- 櫛歯アクチュエータの作製 / Fabrication of Comb-Drive Actuator
- 2023.7.28
- 東北大学
- 22TU0033
- 0.18CMOSプロセスで作製可能な低損失、偏波無依存のスポットサイズコンバーターの試作 / Fabrication of low-loss, polarization-independent spot-size converter manufacturable with a o.18µm CMOS process.
- 2023.7.28
- 東北大学
- 22TU0030
- シリコン光カプラの開発 / Development of silicon optical coupler
- 2023.7.28
- 東北大学
- 22TU0029
- 情報環境（インフォスフィア）調和型 自己組織化ヘテロ集積システムの開発 / Research and Development of 3D LSI
- 2023.7.28
- 東北大学
- 22TU0026
- トンネル磁気抵抗磁気センサーの作製 / Fabrication of Tunnel-Magneto-Resistance Magnetic Sensor
- 2023.7.28
- 東北大学
- 22TU0025
- 平面型熱電発電素子のシリコン酸化膜犠牲層エッチング / Sacrificial layer etching of SiO2 for planar-type TEG
- 2023.7.28
- 東北大学
- 22TU0022
- 圧電MEMSスピーカ開発 / piezo-MEMS speaker development
- 2023.7.28
- 東北大学
- 22TU0021
- SMS vacuum wafer-level package for resonator MEMS
- 2023.7.28
- 東北大学
- 22TU0020
- ポリマー圧電MEMSデバイスの応用研究 / Polymer piezo-MEMS actuator development
- 2023.7.28
- 東北大学
- 22TU0019
- Development of Tactile device and piezoelectric film deposition
- 2023.7.28
- 東北大学