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22UT1078
SiO系材料のエッチング形状の制御法開発
2023.7.31
東京大学
22UT1077
天文分光用MEMSマイクロシャッタアレイ
2023.7.31
東京大学
22UT1076
MEMS振動発電型エナジーハーベスタ
2023.7.31
東京大学
22UT1075
超小型原子時計用のMEMS波長可変光源
2023.7.31
東京大学
22UT1074
光メタサーフェスの試作
2023.7.31
東京大学
22UT1073
Si深堀エッチング用保護膜の開発
2023.7.31
東京大学
22UT1072
マイクロ加工技術を利用した神経細胞群の機能評価
2023.7.31
東京大学
22UT1071
時間反転対称性の破れた反強磁性体における創発物性の開拓
2023.7.31
東京大学
22UT1070
骨分化制御のためのサブミクロン表面微細構造の作製
2023.7.31
東京大学
22UT1067
ニオブ酸リチウムLiNbO3上のSiO2 RIE加工検討
2023.7.31
東京大学
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