設備検索に令和6年度新規登録設備を追加しました。【2月度利用開始の設備】

設置機関：産業技術総合研究所（AIST）

• AT-119 マスクレス露光装置［MLA150］

設置機関：物質・材料研究機構（NIMS）

• NM-668 蒸気二流体洗浄リフトオフ装置 [SSM101]