ハブ・スポーク機関からのお知らせ

東北大学:「第33回マイクロシステム融合研究会」(2023年3月24日)開催

日時

2023年3月24日(金)13:00-17:30

開催方法

オンライン(Zoom)

主催

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム

定員

特に無し(事前登録制)

参加費

無料

参加申し込み

Webフォーム https://forms.gle/ft34M65EQ74UFTLRA
※申込締切:当日まで可

概要

オープンな研究会ですので、どなたでも参加いただけます。
今回はMEMSの中心的な加工技術である「リソグラフィ、および3Dパターニング等の応用」についてご講演いただきます。

プログラム

13:00-13:40 関口 淳(リソテックジャパン)「ステッパ開発の歴史とレジスト材料」
13:40-14:20 渡邉 陽司(ニコン)「DUV光マスクレス露光機の開発」
14:20-15:00 花城 秀明(ミカサ)「膜厚リアルタイム測定機能付スピンコータ」

-休 憩-

15:10-15:50 平井 義和(京都大学)「3次元リソグラフィ技術による生体模倣システムの構築」
15:50-16:30 竹田 宣生(ボールウェーブ)「球面マスクレス露光装置によるボールSAWセンサの製造と超小型ボールSAWガスクロマトグラフ」
16:30-17:10 佐々木 実(豊田工業大学)「立体サンプルの三次元フォトリソグラフィ加工」
17:10-17:30 戸津 健太郎(東北大学)「試作コインランドリにおけるデータ収集、登録について(文科省ARIMプロジェクト関係)」

お問い合わせ

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
庄子 留美子
電話番号:022-305-2351
E-mail: rumiko.shoji.a8(at)tohoku.ac.jp
※(at)を@に書き換えてください。

ホームページ
[URL] http://www.memspc.jp/openseminar/opense85.html
最新情報は、イベントWebサイトでご確認ください。

  • 【更新日】2023/02/27
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