設置機関：物質・材料研究機構 (NIMS)
- NM-020_LC-MS（Orbitrap Exploris 480）
- NM-209_2波長低温単結晶X線回折装置（VariMax DW with Pilatus）
- NM-210_温度可変型粉末X線回折装置
- NM-211_高速・高感度型粉末X線回折装置
- NM-212_簡易型粉末回折計-CuN1
- NM-213_簡易型粉末回折計-CuN2
- NM-214_簡易型粉末回折計-Cr
- NM-215_簡易型粉末X線回折装置
- NM-517_FIB/SEM精密微細加工装置（Helios 650）
- NM-664_スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #4]
- NM-665_電子銃型蒸着装置 [ADS-E810]
設置機関：東京大学
- UT-012_多機能電界放出型透過電子顕微鏡
- UT-157_TEM用ハイスループットイオン研磨システム
- UT-158_大気非暴露対応冷却クロスセクションポリッシャ
- UT-510_自動フォトマスクエッチング装置AEP-3000S
- UT-511_レーザー直接描画装置DWL66+2024
- UT-512_枚様式HMDS処理装置APPS-30
- UT-716_LL式高密度汎用スパッタリング装置(2024)
- UT-863_大面積走査プローブ顕微鏡Dimension ICON
- UT-916_精密研磨装置PM-6
- UT-917_ウエーハレベルボンディング装置SB8 Gen2
設置機関：名古屋大学
- NU-262_プラズマ誘起CVD装置
- NU-263_高分解能走査型電子顕微鏡
- NU-264_原子間力顕微鏡
- NU-265_物理特性測定装置
- NU-266_全自動X線回折装置
- NU-267_RIEエッチング装置
- NU-268_電子線描画用データ処理ソフトウェア
設置機関：九州大学
設置機関：北海道大学
設置機関：筑波大学
設置機関：東京工業大学
設置機関：電気通信大学
設置機関：豊田工業大学
設置機関：自然科学研究機構 分子科学研究所
設置機関：大阪大学
設置機関：奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
設置機関：広島大学