接触式膜厚測定器
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | OS-126 |
|---|---|
| 分類 |
膜厚・粒度測定 > 段差計 膜厚・粒度測定 > 膜厚測定 |
| 設備名称 | 接触式膜厚測定器 (Stylus Profiler) |
| 設置機関 | 大阪大学 |
| 設置場所 | 産業科学研究所N415 |
| メーカー名 | ブルカージャパン株式会社 (Bruker Japan K.K.) |
| 型番 | DektakXT |
| キーワード | スタイラス |
| 仕様・特徴 | 【特徴】 10nm以下の段差を測定できる触針式の膜厚測定器です。 3D機能を備えたプロファイリングシステムを搭載しており、3Dマッピングが可能です。 【仕様】 試料ステージ：150mmφ 分解能：0.4nm 垂直測定レンジ：1 mm 膜厚測定再現性（1σ）：5Å 走査距離上限：55mm 触針圧：1mg～15mg |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=OS-126 |
