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アクテス スピンコータ#2

設備ID TU-053
分類 成膜装置 > コーター（スピン、ディップ、スプレイなど）
リソグラフィ > レジスト処理装置
装置名称 アクテス スピンコータ#2 (Spin coater)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 アクテス (Actes)
型番 ASC-4000W
キーワード レジスト等のスピンコーティング
仕様・特徴 サンプルサイズ：4，6，8インチ
    アクテス スピンコータ#2
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