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アクテススピンコータ#1

設備ID	TU-052
分類	成膜装置 > コーター（スピン、ディップ、スプレイなど）リソグラフィ > レジスト処理装置
装置名称	アクテススピンコータ#1 (Spin coater)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	アクテス (Actes)
型番	ASC-4000
キーワード	レジスト等のスピンコーティング
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～6インチ

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