マスクアライナー
設備ID | OS-107 |
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分類 | リソグラフィ > 光露光(マスクアライナ) |
装置名称 | マスクアライナー (Mask aligner) |
設置機関 | 大阪大学 |
設置場所 | 産業科学研究所N415 |
メーカー名 | ミカサ (Mikasa) |
型番 | MA-10 |
キーワード | アライメントスコープ 超高圧水銀灯使用:中~近紫外放射 |
仕様・特徴 | 【特徴】 UV露光、マニュアルタイプ、コンタクト露光機。二視野顕微鏡採用によるスピーディで正確なアライメント。 【仕様】 試料は 2 inch φ、マスクは 3 inch角まで対応 水銀灯250W光源(ブロード波長) 二視野顕微鏡採用 |