マスクアライナー
最終更新日：2023年4月18日
| 設備ID | OS-107 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > 光露光（マスクアライナ） |
| 設備名称 | マスクアライナー (Mask aligner) |
| 設置機関 | 大阪大学 |
| 設置場所 | 産業科学研究所N415 |
| メーカー名 | ミカサ (Mikasa) |
| 型番 | MA-10 |
| キーワード | アライメントスコープ 超高圧水銀灯使用：中～近紫外放射 |
| 仕様・特徴 | 【特徴】 UV露光、マニュアルタイプ、コンタクト露光機。二視野顕微鏡採用によるスピーディで正確なアライメント。 【仕様】 試料は 2 inch φ、マスクは 3 inch角まで対応 水銀灯250W光源（ブロード波長） 二視野顕微鏡採用 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=OS-107 |
