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ミカサ スピンコータ

設備ID TU-051
分類 成膜装置 > コーター（スピン、ディップ、スプレイなど）
リソグラフィ > レジスト処理装置
装置名称 ミカサ スピンコータ (Mikasa Spin coater)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 ミカサ (Mikasa)
型番 1H-DXII
キーワード レジストやHMDS等のスピンコーティング
仕様・特徴 サンプルサイズ：小片～6インチ
    ミカサ スピンコータ
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