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複合ビーム３次元加工・観察装置

設備ID	OS-005
分類	微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB）
装置名称	複合ビーム３次元加工・観察装置 (FIB-SEM)
設置機関	大阪大学
設置場所	阪大超高圧電顕センター
メーカー名	サーモフィッシャーサイエンティフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番	Scios2
キーワード	金属、半導体、セラミックス
仕様・特徴	加速電圧200V～30kV、dual beam、EDS分析機能