複合ビーム３次元加工・観察装置
最終更新日：2023年6月16日
| 設備ID | OS-005 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） |
| 設備名称 | 複合ビーム３次元加工・観察装置 (FIB-SEM) |
| 設置機関 | 大阪大学 |
| 設置場所 | 阪大超高圧電顕センター |
| メーカー名 | サーモフィッシャーサイエンティフィック (Thermo Fisher Scientific) |
| 型番 | Scios2 |
| キーワード | 金属、半導体、セラミックス |
| 仕様・特徴 | 加速電圧200V～30kV、dual beam、EDS分析機能 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=OS-005 |
