ブラシスクラバ
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-009 |
|---|---|
| 分類 |
表面処理・洗浄 > ウェット処理 組立・パッケージング > 研磨(化学、機械) |
| 設備名称 | ブラシスクラバ (Brush scrubber) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 3Fクリーンルーム |
| メーカー名 | 全協化成 (Zenkyo) |
| 型番 | 特注 |
| キーワード | 研磨後のウェハ洗浄 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：20mm角～6インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-009 |
