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ブラシスクラバ

設備ID	TU-009
分類	表面処理・洗浄 > ウェット処理組立・パッケージング > 研磨(化学、機械)
装置名称	ブラシスクラバ (Brush scrubber)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 3Fクリーンルーム
メーカー名	全協化成 (Zenkyo)
型番	特注
キーワード	研磨後のウェハ洗浄
仕様・特徴	サンプルサイズ：20mm角～6インチ