200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡
設備ID | OS-003 |
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分類 | 透過電子顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
装置名称 | 200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡 (200kV atomic-resolution analytical TEM/STEM) |
設置機関 | 大阪大学 |
設置場所 | 阪大超高圧電顕センター |
メーカー名 | 日本電子(株) (JEOL Ltd.) |
型番 | JEM-ARM200F |
キーワード | 金属、半導体、セラミックス、薄膜、ナノ粒子 |
仕様・特徴 | 加速電圧200kV、HRTEM、収差補正STEM EDS、EELS分析機能 |