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200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡

設備ID OS-003
分類 透過電子顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
装置名称 200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡 (200kV atomic-resolution analytical TEM/STEM)
設置機関 大阪大学
設置場所 阪大超高圧電顕センター
メーカー名 日本電子(株) (JEOL Ltd.)
型番 JEM-ARM200F
キーワード 金属、半導体、セラミックス、薄膜、ナノ粒子
仕様・特徴 加速電圧200kV、HRTEM、収差補正STEM
EDS、EELS分析機能
    200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡
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