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シンター用オーブン

設備ID	TU-007
分類	熱処理・ドーピング > 熱処理、レーザーアニール
装置名称	シンター用オーブン (Sintering oven)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	ヤマト科学 (Yamato)
型番	DR22
キーワード	N₂雰囲気中での熱処理、Alシンタリングなど
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～6インチ温度：最高650℃

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