低真空分析走査電子顕微鏡
最終更新日：2024年4月9日
| 設備ID | MS-202 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 低真空分析走査電子顕微鏡 (Low vacuum analysis scanning electron microscope) |
| 設置機関 | 自然科学研究機構 分子科学研究所 |
| 設置場所 | 分子研 明大寺地区 |
| メーカー名 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | SU6600 |
| キーワード | 走査型電子顕微鏡 |
| 仕様・特徴 | ショットキー形電子銃 空間分解能1.2nm(30kV)、3.0nm(30kV) 低真空機能（10～300Pa） EDS（EDX）（BrukerAXS社製 FQ5060/XFlash6） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=MS-202 |
