4スピン乾燥機
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-005 |
|---|---|
| 分類 | 表面処理・洗浄 > ウェット処理 |
| 設備名称 | 4スピン乾燥機 (4 Spin dryer) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | SEMITOOL (SEMITOOL) |
| 型番 | PSC101 |
| キーワード | 4インチウェハのスピン乾燥 |
| 仕様・特徴 | カセット式で1度に25枚まで処理可能 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-005 |
