抵抗加熱蒸着装置
本設備の共用は終了しています。
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最終更新日：2024年8月29日
| 設備ID | TT-025 |
|---|---|
| 分類 | > |
| 設備名称 | 抵抗加熱蒸着装置 (Thermal evaporator) |
| 設置機関 | 豊田工業大学 |
| 設置場所 | クリーンルーム |
| メーカー名 | アルバック (ULVAC) |
| 型番 | VPC-260F型 |
| キーワード | 小型の熱蒸着装置。 |
| 仕様・特徴 | ・3種類の金属ソースを、真空を破らずに抵抗加熱で蒸着可能 |
| 設備状況 | 共用を終了した設備です |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TT-025 |
