非接触３次元表面形状・粗さ測定機
最終更新日：2024年4月8日
| 設備ID | TT-018 |
|---|---|
| 分類 | 光学顕微鏡 > その他 |
| 設備名称 | 非接触３次元表面形状・粗さ測定機 (White-light interferometer) |
| 設置機関 | 豊田工業大学 |
| 設置場所 | 通常実験室 |
| メーカー名 | ザイゴ (Zygo) |
| 型番 | NewView 7300 |
| キーワード | 位相差顕微鏡。振動・変形測定。xyzチルト5軸がモータ駆動。ストロボ法で動きも測定可能。 |
| 仕様・特徴 | 材料は不問。サイズと重量はステージに載れば良い。 約1.5kgまでモーターステージ可動。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TT-018 |
