表面形状測定器（段差計）
最終更新日：2024年4月8日
| 設備ID | TT-017 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
| 設備名称 | 表面形状測定器（段差計） (Stylus profiler) |
| 設置機関 | 豊田工業大学 |
| 設置場所 | クリーンルーム |
| メーカー名 | KLAテンコール (KLA-Tencor) |
| 型番 | アルファーステップ IQZ |
| キーワード | 段差計。サンプル外部形状を数nmの段差から測定可能。 |
| 仕様・特徴 | 触針段差計、材料は不問 φ4インチ程度 針先端が形状を沿って動けることが条件 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TT-017 |
