エリプソメーター
最終更新日：2024年4月8日
| 設備ID | TT-016 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > エリプソメーター |
| 設備名称 | エリプソメーター (Ellipsometer) |
| 設置機関 | 豊田工業大学 |
| 設置場所 | クリーンルーム |
| メーカー名 | ガ－トナ－ (Gartner Sci. Corp.) |
| 型番 | LSE |
| キーワード | エリプソメーター。HeNeレーザによるスポット計測。 |
| 仕様・特徴 | ・シリコン酸化膜あるいはSiN膜等の単層あるいは2層膜の膜厚測定 ・φ6インチ以下基板 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TT-016 |
