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エリプソメーター

設備ID	TT-016
分類	膜厚・粒度測定 > エリプソメーター
装置名称	エリプソメーター (Ellipsometer)
設置機関	豊田工業大学
設置場所	クリーンルーム
メーカー名	ガ－トナ－ (Gartner Sci. Corp.)
型番	LSE
キーワード	エリプソメーター。HeNeレーザによるスポット計測。
仕様・特徴	・シリコン酸化膜あるいはSiN膜等の単層あるいは2層膜の膜厚測定・φ6インチ以下基板