電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）(電子ビーム描画機能付属）
最終更新日：2024年4月8日
| 設備ID | TT-014 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）(電子ビーム描画機能付属） (Field emission-type scanning electron microscope) |
| 設置機関 | 豊田工業大学 |
| 設置場所 | 通常実験室 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL Ltd.) |
| 型番 | JSM6500F |
| キーワード | 電界放出形走査型電子顕微鏡。 |
| 仕様・特徴 | 東京テクノロジーのBEAM DRAWを付加した電子線描画装置。最小描画線幅50nm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TT-014 |
