ダイシング装置
最終更新日：2024年4月8日
| 設備ID | TT-013 |
|---|---|
| 分類 | 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ |
| 設備名称 | ダイシング装置 (Dicing equipment) |
| 設置機関 | 豊田工業大学 |
| 設置場所 | 通常実験室 |
| メーカー名 | 岡本工作機械製作所 (okamoto machine tool works,LTD) |
| 型番 | ADM-6DBV |
| キーワード | ダイシング、スクライバ。被切断材質はシリコン、石英基板、サファイア等 |
| 仕様・特徴 | φ6インチ以下基板のダイシング加工 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TT-013 |
