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ダイシング装置

設備ID	TT-013
分類	組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ
装置名称	ダイシング装置 (Dicing equipment)
設置機関	豊田工業大学
設置場所	通常実験室
メーカー名	岡本工作機械製作所 (okamoto machine tool works,LTD)
型番	ADM-6DBV
キーワード	ダイシング、スクライバ。被切断材質はシリコン、石英基板、サファイア等
仕様・特徴	φ6インチ以下基板のダイシング加工