レジスト処理（アッシング）装置
最終更新日：2024年4月8日
| 設備ID | TT-007 |
|---|---|
| 分類 | 膜加工・エッチング > プラズマエッチング |
| 設備名称 | レジスト処理（アッシング）装置 (Asher) |
| 設置機関 | 豊田工業大学 |
| 設置場所 | 通常実験室 |
| メーカー名 | VICインターナショナル (VIC international) |
| 型番 | VPA-100改造 |
| キーワード | レジスト処理装置。サンプルは、処理中に温度が上がる。推定で150℃以上。有機物の除去用。 |
| 仕様・特徴 | ・材料制限は少ない（要相談） ・φ4インチまで ・付帯装置：UVキュア処理装置（自作） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TT-007 |
