有機ドラフトチャンバー
最終更新日：2022年5月20日
| 設備ID | TU-002 |
|---|---|
| 分類 |
表面処理・洗浄 > ウェット処理 リソグラフィ > レジスト処理装置 |
| 設備名称 | 有機ドラフトチャンバー (Draft Chamber for organic) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | |
| 型番 | |
| キーワード | 有機洗浄、レジスト剥離 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～8インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-002 |
