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有機ドラフトチャンバー

設備ID	TU-002
分類	表面処理・洗浄 > ウェット処理リソグラフィ > レジスト処理装置
装置名称	有機ドラフトチャンバー (Draft Chamber for organic)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名
型番
キーワード	有機洗浄、レジスト剥離
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～8インチ