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グラフェン・カーボンナノチューブ合成装置

最終更新日:2024年4月8日
設備ID NI-106
分類 成膜装置 > 成長炉(ダイヤモンド、CNT・グラフェン、ほか)
設備名称 グラフェン・カーボンナノチューブ合成装置 (Chemical Vapor Deposition System for Graphene and Carbon Nanotubes Growth)
設置機関 名古屋工業大学
設置場所 名古屋工業大学御器所キャンパス
メーカー名 自作 (Home-made)
型番 自作
キーワード 単層、多層のグラフェン、カーボンナノチューブ
CNT・グラフェン成長/ Carbon nanotube and graphene growth
仕様・特徴 基板サイズ:2cm角程度以下
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NI-106
    グラフェン・カーボンナノチューブ合成装置
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