特型表面ナノ構造形成装置
最終更新日：2024年4月8日
| 設備ID | NI-105 |
|---|---|
| 分類 |
成膜装置 > スパッタリング（スパッタ） 成形装置 > その他 |
| 設備名称 | 特型表面ナノ構造形成装置 (Nanostructure Fabrication System) |
| 設置機関 | 名古屋工業大学 |
| 設置場所 | 名古屋工業大学御器所キャンパス |
| メーカー名 | アルバック (ULVAC) |
| 型番 | 特型 |
| キーワード | ナノ材料、導電性材料、高分子材料、表面ナノ構造形成 スパッタリング（スパッタ）/ Sputtering |
| 仕様・特徴 | 基板サイズ：２インチφ程度以下。超斜め入射イオンビームによるマスクレスの表面ナノ構造・ナノドット形成可能、組成制御可能、高分子材料の加工可能。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NI-105 |
