精密形状測定・局所磁気測定・局所電気特性評価装置
| 設備ID | NI-017 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型プローブ顕微鏡 |
| 装置名称 | 精密形状測定・局所磁気測定・局所電気特性評価装置 (Scanning Probe Microscope for Morphological, Magnetic and Electrical Characterization) |
| 設置機関 | 名古屋工業大学 |
| 設置場所 | 名古屋工業大学御器所キャンパス |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JSPM-5200TM |
| キーワード | ナノ材料、ソフトマテリアル、形状計測、電気特性測定、磁気特性測定 走査型プローブ顕微鏡/ Scanning probe microscopy |
| 仕様・特徴 | 分解能：原子分解能。カーボンナノファイバー(CNF)探針によるソフトマテリアル低損傷観察可能。 測定モード：形状、電気特性、磁気特性測定。 |
