白色共焦点顕微鏡
最終更新日：2024年4月8日
| 設備ID | NI-003 |
|---|---|
| 分類 | 光学顕微鏡 > 共焦点レーザー走査型顕微鏡 |
| 設備名称 | 白色共焦点顕微鏡 (White light confocal microscope) |
| 設置機関 | 名古屋工業大学 |
| 設置場所 | 名古屋工業大学御器所キャンパス |
| メーカー名 | レーザーテック (Lasertec Corporation) |
| 型番 | OPTELICS HYBRID C3 |
| キーワード | 形状計測 共焦点顕微鏡/ Confocal microscope |
| 仕様・特徴 | 白色光源および6波長選択機能 高さ測定、線幅測定、表面粗さ測定（JI S、ISO対応）、３D表示 1μm～nmの透明膜の膜厚測定 室温～1000℃の高温加熱ステージ（真空、不活性ガス、大気中での測定） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NI-003 |
