原子分解能分析電子顕微鏡群
最終更新日：2024年4月8日
| 設備ID | NI-001 |
|---|---|
| 分類 |
透過電子顕微鏡 > 走査型透過電子顕微鏡 微小加工装置 > イオンミリング（TEM試料作製） 微小加工装置 > その他 |
| 設備名称 | 原子分解能分析電子顕微鏡群 (Atomic-Resolution Analytical Electron Microscope) |
| 設置機関 | 名古屋工業大学 |
| 設置場所 | 名古屋工業大学御器所キャンパス |
| メーカー名 | 日本電子/ガタン (JEOL/Gatan, Inc./Gatan, Inc.) |
| 型番 | JEM-ARM200F/PIPS II/Model 656 |
| キーワード | ナノ材料、セラミックス、金属、複合材料、構造評価、組織観察、組成分析、状態分析 走査型透過電子顕微鏡/ Scanning transmission electron microscopy |
| 仕様・特徴 | ●走査透過電子顕微鏡（JEM-ARM200F） 加速電圧：80kV・200kV，電子銃：冷陰極電界放出型 EDS、EELS、デジタルCCDカメラシステム付設 ●イオンミリング装置（PIPS II） 高精度で無機化合物、金属、複合材料などをAr+イオンにより研磨できる。イオン銃加速電圧：0.1～7kV 冷却ステージあり ●ディンプルグラインダー（Model 656） イオンミリングの前処理として固体板状試料に3mmΦ以下のくぼみをつけることができる。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NI-001 |
