リモート対応型電子線マイクロアナライザー
| 設備ID | SH-010 |
|---|---|
| 分類 | 表面分析（深さ方向元素分析を含む） > 電子線プローブマイクロアナライザー(EPMA) |
| 装置名称 | リモート対応型電子線マイクロアナライザー (Remote-controlled electron probe microanalyzer) |
| 設置機関 | 信州大学 |
| 設置場所 | 信州大学 長野（工学）キャンパス 国際科学イノベーションセンター |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JXA-iHP200F |
| キーワード | FE-SEMの分解能 組成分析 |
| 仕様・特徴 | 2次電子分解能 2.5nm 分析元素Ｂ～Ｕ ＷＤＳ：５基、ＥＤＳ１基 最大試料100mm×100mm×50mm 加速電圧1～30kV |
