オージェ電子顕微鏡
| 設備ID | SH-008 |
|---|---|
| 分類 | 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > オージェ電子分光 |
| 装置名称 | オージェ電子顕微鏡 (Auger electron microscope) |
| 設置機関 | 信州大学 |
| 設置場所 | 信州大学 長野（工学）キャンパス 国際科学イノベーションセンター |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JAMP-9510 |
| キーワード | 原子組成マッピング FE-SEMの分解能 |
| 仕様・特徴 | FE電子銃 加速電圧 0.5～30kV 静電半球アナライザ |
