複合ビーム加工観察装置
設備ID | SH-007 |
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分類 |
走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 微小加工装置 > 集束イオンビーム(FIB) |
装置名称 | 複合ビーム加工観察装置 (Dual beam analysis system ) |
設置機関 | 信州大学 |
設置場所 | 信州大学 長野(工学)キャンパス 国際科学イノベーションセンター |
メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
型番 | JIB-4610F |
キーワード | 3D微細形状の分析 TEM試料作製 |
仕様・特徴 | FE-SEM 加速電圧 0.1~30kV FIB 分解能4nm 加速電圧 1~30kV Cryoオプション付き ピックアップシステム付き |